ENHANCING PLASMA ETCHING EFFICIENCY, REPEATABILITY, AND ENVIRONMENTAL FOOTPRINT VIA AI-BASED MODELING AND OPTIMIZATION (PLASMAI)

Κωδ. Έργου: 92007400
Ημ. Έναρξης: 06.12.2023
Ημ. Λήξης: 05.12.2024
Ημ. Έγκρισης: 06.12.2023
Σχολή: ΧΗΜΙΚΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ
Τομέας: ΑΝΑΛ. ΣΧΕΔ. & ΑΝΑΠ. ΔΙΕΡ. ΣΥΣ.
Χρηματοδότης: MERCK ELECTRONICS KGaA
Προϋπολογισμός: 23.654,00 €
Α.Δ.Α.: ΨΧΦΦ46ΨΖΣ4-ΙΚΗ
Επ. Υπευθ.: ΑΝ. ΚΑΘ. ΓΕΩΡΓΙΟΣ ΚΟΚΚΟΡΗΣ
Email: g.kokkoris@gmail.com
Περιγραφή: Η ΕΓΧΑΡΑΞΗ ΜΕ ΠΛΑΣΜΑ, ΠΟΥ ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΕΙΤΑΙ ΕΥΡΕΩΣ ΚΑΤΑ ΤΗ ΜΕΤΑΦΟΡΑ ΣΧΗΜΑΤΟΣ ΣΤΗ ΒΙΟΜΗΧΑΝΙΑ ΗΜΙΑΓΩΓΩΝ, «ΠΑΣΧΕΙ» ΑΠΟ ΜΑΚΡΟΣΚΟΠΙΚΗ ΑΝΟΜΟΙΟΜΟΡΦΙΑ (ΣΕ ΕΠΙΠΕΔΟ ΔΙΣΚΙΟΥ) ΚΑΙ ΔΙΑΦΟΡΟΠΟΙΗΣΕΙΣ ΑΠΟ ΠΑΡΤΙΔΑ ΣΕ ΠΑΡΤΙΔΑ ΛΟΓΩ ΜΕΤΑΒΟΛΩΝ ΣΤΑ ΕΣΩΤΕΡΙΚΑ ΤΟΙΧΩΜΑΤΑ ΤΩΝ ΑΝΤΙΔΡΑΣΤΗΡΩΝ ΠΟΥ ΑΥΞΑΝΟΥΝ ΤΟ ΚΟΣΤΟΣ ΠΑΡΑΓΩΓΗΣ. ΥΠΑΡΧΕΙ ΕΠΙΣΗΣ ΜΕΓΑΛΗ ΑΝΑΓΚΗ ΓΙΑ «ΠΡΑΣΙΝΕΣ» ΣΥΝΤΑΓΕΣ ΕΓΧΑΡΑΞΗΣ, ΔΗΛΑΔΗ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΕΣ ΜΕ ΧΑΜΗΛΟΤΕΡΟ ΔΥΝΑΜΙΚΟ ΥΠΕΡΘΕΡΜΑΝΣΗΣ ΤΟΥ ΠΛΑΝΗΤΗ, ΜΗ ΤΟΞΙΚΑ ΑΕΡΙΑ ΚΑΙ ΑΠΟΔΟΤΙΚΗ ΧΡΗΣΗ ΕΝΕΡΓΕΙΑΣ.
ΟΡΑΜΑΤΙΖΟΜΑΣΤΕ ΜΙΑ ΚΑΘΟΛΙΚΗ ΛΥΣΗ ΜΕ ΤΗ ΔΥΝΑΤΟΤΗΤΑ ΝΑ ΑΝΤΙΜΕΤΩΠΙΣΟΥΜΕ ΟΛΕΣ ΤΙΣ ΣΥΓΧΡΟΝΕΣ ΠΡΟΚΛΗΣΕΙΣ ΤΗΣ ΔΙΑΔΙΚΑΣΙΑΣ ΕΓΧΑΡΑΞΗΣ ΜΕ ΠΛΑΣΜΑ: ΘΑ ΑΝΑΠΤΥΧΘΕΙ ΕΝΑ ΥΠΟΛΟΓΙΣΤΙΚΑ ΓΡΗΓΟΡΟ ΚΑΙ ΑΚΡΙΒΕΣ ΜΟΝΤΕΛΟ ΤΗΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΑΣ ΕΓΧΑΡΑΞΗΣ ΜΕ ΠΛΑΣΜΑ ΠΟΥ ΒΑΣΙΖΕΤΑΙ ΣΕ ΔΕΔΟΜΕΝΑ ΚΑΙ, ΜΕΣΩ ΑΛΓΟΡΙΘΜΩΝ ΒΕΛΤΙΣΤΟΠΟΙΗΣΗΣ, ΘΑ ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΗΘΕΙ ΓΙΑ ΝΑ ΔΩΣΕΙ ΑΠΑΝΤΗΣΕΙΣ ΣΕ ΣΗΜΑΝΤΙΚΑ ΕΡΩΤΗΜΑΤΑ ΣΧΕΤΙΚΑ ΜΕ ΤΟ ΚΟΣΤΟΣ, Η ΟΜΟΙΟΜΟΡΦΙΑ, ΤΙΣ ΔΙΑΦΟΡΟΠΟΙΗΣΕΙΣ, ΤΟ ΠΕΡΙΒΑΛΛΟΝΤΙΚΟ ΑΠΟΤΥΠΩΜΑ ΚΑΙ ΤΟ ΣΧΕΔΙΑΣΜΟ ΝΕΩΝ ΣΥΝΤΑΓΩΝ. Η ΑΝΑΠΤΥΞΗ ΤΟΥ ΜΟΝΤΕΛΟΥ ΘΑ ΒΑΣΙΖΕΤΑΙ ΣΕ ΔΕΔΟΜΕΝΑ ΠΟΥ ΥΠΟΛΟΓΙΖΟΝΤΑΙ ΑΠΟ ΜΟΝΤΕΛΑ ΠΡΩΤΩΝ ΑΡΧΩΝ (ΜΟΝΤΕΛΑ ΠΟΥ ΒΑΣΙΖΟΝΤΑΙ ΣΕ ΝΟΜΟΥΣ ΔΙΑΤΗΡΗΣΗΣ) ΚΑΙ ΚΑΤΑΛΛΗΛΑ ΕΠΙΛΕΓΜΕΝΕΣ ΠΕΙΡΑΜΑΤΙΚΕΣ ΜΕΤΡΗΣΕΙΣ. ΑΥΤΑ ΤΑ ΔΕΔΟΜΕΝΑ ΜΠΟΡΟΥΝ ΝΑ ΧΡΗΣΙΜΟΠΟΙΗΘΟΥΝ ΓΙΑ ΤΗΝ ΕΚΠΑΙΔΕΥΣΗ ΕΝΟΣ ΜΟΝΤΕΛΟΥ ΜΗΧΑΝΙΚΗΣ ΜΑΘΗΣΗΣ ΩΣΤΕ ΝΑ ΠΡΟΣΕΓΓΙΖΕΙ ΤΑ ΑΠΟΤΕΛΕΣΜΑΤΑ ΤΗΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΑΣ. ΑΝ ΚΑΙ Η ΧΡΗΣΗ ΜΗΧΑΝΙΚΗΣ ΕΚΜΑΘΗΣΗΣ ΓΙΑ ΤΗΝ ΕΚΠΑΙΔΕΥΣΗ ΕΝΟΣ ΜΟΝΤΕΛΟΥ ΕΙΝΑΙ ΥΠΟΛΟΓΙΣΤΙΚΑ ΔΑΠΑΝΗΡΗ, ΑΦΟΥ ΕΚΠΑΙΔΕΥΤΟΥΝ, ΤΕΤΟΙΑ ΜΟΝΤΕΛΑ ΕΙΝΑΙ ΤΑΞΕΙΣ ΜΕΓΕΘΟΥΣ ΤΑΧΥΤΕΡΑ ΑΠΟ ΤΑ ΜΟΝΤΕΛΑ ΠΟΥ ΒΑΣΙΖΟΝΤΑΙ ΣΕ ΝΟΜΟΥΣ ΔΙΑΤΗΡΗΣΗΣ, ΕΠΙΤΡΕΠΟΝΤΑΣ ΤΗ ΓΡΗΓΟΡΗ ΕΞΕΡΕΥΝΗΣΗ ΤΟΥ ΧΩΡΟΥ ΤΩΝ ΠΑΡΑΜΕΤΡΩΝ, ΚΑΤΙ ΠΟΥ ΕΙΝΑΙ ΚΡΙΣΙΜΟ ΚΑΤΑ ΤΗΝ ΕΚΤΕΛΕΣΗ ΜΕΛΕΤΩΝ ΒΕΛΤΙΣΤΟΠΟΙΗΣΗΣ ΚΑΙ ΤΗΝ ΑΝΤΙΜΕΤΩΠΙΣΗ ΤΩΝ ΠΡΟΚΛΗΣΕΩΝ ΤΗΣ ΔΙΕΡΓΑΣΙΑΣ ΕΓΧΑΡΑΞΗΣ ΜΕ ΠΛΑΣΜΑ.
Go to Top