ENHANCING PLASMA ETCHING EFFICIENCY, REPEATABILITY, AND ENVIRONMENTAL FOOTPRINT VIA AI-BASED MODELING AND OPTIMIZATION (PLASMAI)
Κωδ. Έργου: 92007400
Σχολή: ΧΗΜΙΚΩΝ ΜΗΧΑΝΙΚΩΝ
Τομέας: ΑΝΑΛ. ΣΧΕΔ. & ΑΝΑΠ. ΔΙΕΡ. ΣΥΣ.
Επ. Υπευθ.: ΑΝ. ΚΑΘ. ΓΕΩΡΓΙΟΣ ΚΟΚΚΟΡΗΣ